基于MEMS技術(shù)的濾波器設(shè)計.pdf

1、隨著通信行業(yè)的迅猛發(fā)展，集成化和小型化成為微波通信系統(tǒng)中微波組件的重要趨勢，濾波器作為通信系統(tǒng)中必不可少的微波無源器件，濾波器的性能指標直接影響整個通信鏈路的性能。微波組件有源器件大多為微小芯片，組件的體積和重量主要由無源器件決定，所以減少濾波器的體積重量意義重大。高效、快速地研制小型化高性能的微波濾波器已經(jīng)成為主流。
　　本文主要研究微機械（MEMS）濾波器的設(shè)計和相關(guān)的MEMS加工工藝，最終實現(xiàn)內(nèi)部無可活動結(jié)構(gòu)的硅腔濾波器。相

2、同結(jié)構(gòu)MEMS濾波器與腔體濾波器對比，帶外抑制與腔體濾波器相當，MEMS體積只有腔體的1/200。
　　本文主要內(nèi)容為：
　　1、研究硅基微機械加工工藝，重點研究硅體加工中的高深寬比電感耦合等離子（ICP）刻蝕和表面硅加工的光刻工藝、復(fù)合微機械加工中的鍵合工藝，運用以上關(guān)鍵工藝實現(xiàn)單層和雙層封閉結(jié)構(gòu)硅腔濾波器；
　　2、根據(jù)電路理論，濾波器網(wǎng)絡(luò)綜合理論，諧振器之間耦合計算確定濾波器的電路結(jié)構(gòu)。選取恰當?shù)耐負浣Y(jié)構(gòu)，以得到