MEMS帶通濾波器設(shè)計(jì)與仿真技術(shù)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、無(wú)線通信技術(shù)，特別是第三代通信系統(tǒng)和藍(lán)牙技術(shù)的迅速發(fā)展，主流的通信頻段日益擁擠，工作在射頻波段的通信器件，尤其是濾波器件越來(lái)越受到人們的重視。 微機(jī)電(MEMS:Micro-Electro-MechanicalSystems)技術(shù)帶來(lái)了精細(xì)的加工手段，使系統(tǒng)的微型化成為可能。而基于MEMS技術(shù)研制的體聲波諧振器(FBAR:FilmBulkAcousticResonators)是實(shí)現(xiàn)濾波器件微型化的關(guān)鍵。FBAR具有頻率高、體積小

2、、效率高等優(yōu)點(diǎn)，并且與半導(dǎo)體工藝兼容，容易與射頻系統(tǒng)前端集成，實(shí)現(xiàn)射頻系統(tǒng)的微型化。利用FBAR可以制作濾波器、振蕩器、雙工器等多種高性能小體積表面貼裝型微波器件，其電性能己能達(dá)到3G移動(dòng)通信的要求。 本論文通過(guò)作者對(duì)國(guó)外典型體聲波諧振器的調(diào)研分析，提出自己的體聲波諧振器結(jié)構(gòu)模型，并應(yīng)用一系列仿真軟件，如matheatica、Matlab、ADS、ConventorWare等對(duì)體聲波諧振器的電抗和加工工藝以及體聲波濾波器的傳輸系

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