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文檔簡介
1、作為實現(xiàn)信道頻譜分配的關鍵無源器件，微波濾波器在無線通信等領域發(fā)揮著極其重要的作用?，F(xiàn)代無線通信技術的快速發(fā)展使無線電頻譜資源顯得相對稀缺，人類社會對于通信設備提出了更加嚴苛的要求，如小型化、集成化、高性能、低成本等。因此，實現(xiàn)體積小、重量輕、易加工、成本低、品質因數(shù)高且易于集成的無源濾波器，業(yè)已成為當前微波技術領域的研究熱點。
本文在總結國內外微波濾波器及RF MEMS濾波器研究和發(fā)展狀況的基礎上，從帶通濾波器的設計原理出發(fā)
2、，提出系統(tǒng)的總體解決方案，包括采用帶狀線交指結構實現(xiàn)濾波、開路端SIR實現(xiàn)結構緊湊的準叉指帶通濾波器、接地共平面波導實現(xiàn)輸入輸出、硅基MEMS技術等。對性能和結構參數(shù)各異的濾波器進行分析和設計，并采用三維電磁仿真軟件CST對濾波器進行模擬仿真。
根據(jù)器件結構繪制版圖制造掩膜版，在對關鍵工藝進行單項實驗驗證的基礎上整合出完整的CMOS-MEMS兼容的工藝流程，經過多次工藝流片，實現(xiàn)了制作在高阻硅襯底上的MEMS帶通濾波器芯片：雙
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