基于MEMS工藝的太赫茲濾波器的研究.pdf

1、分類號密級UDC1注學位論文基于MEMS工藝的太赫茲濾波器的研究（題名和副題名）崔博華（作者姓名）指導教師姓名蘇樺教授鄧賢進副研究員電子科技大學成都（職務、職稱、學位、單位名稱及地址）申請專業(yè)學位級別碩士專業(yè)名稱電子信息材料與元器件論文提交日期2012.04論文答辯日期2012.05學位授予單位和日期電子科技大學答辯委員會主席評閱人2012年月日注1：注明《國際十進分類法UDC》的類號。摘要摘要太赫茲空間通信集成了微波通信與光通信的優(yōu)點

2、，具有體積小、高保密性、定位精確、高速率以及大容量等特點，有著廣闊的應用前景，因此開展太赫茲通信研究具有非常重要的意義。在太赫茲通信的開發(fā)和利用中，離不開太赫茲功能器件的發(fā)展，而太赫茲濾波器作為通信系統(tǒng)中的重要無源器件，它的好壞直接影響了通信系統(tǒng)的總體指標，其發(fā)展不容忽視。本文研究的主要內(nèi)容是太赫茲濾波器技術以及MEMS(微電子機械系統(tǒng))工藝，在此基礎上研制應用在太赫茲系統(tǒng)中的140GHz帶通濾波器，其主要研究內(nèi)容如下：1、介紹了濾波器

3、的基本理論和設計的原理，設計了三種方案的140GHz的太赫茲濾波器并對其進行了討論確定了濾波器的結(jié)構與技術路線，然后介紹了矩形波導濾波器的設計方法和過程。2、介紹了制作濾波器的工藝流程，并對每一步工藝進行了分析與仿真。3、對濾波器進行了第一次加工，對濾波器進行測試以及電鏡掃描后改進了制作工藝，進行了第二次加工，經(jīng)測試濾波器達到了指標要求。實測的濾波器指標如下，中心頻率138GHz；通帶帶寬10GHz；矩形系數(shù)40dB3dB≤2；帶內(nèi)插損