基于硅襯底的新型射頻微機械開關(guān).pdf

1、射頻開關(guān)是射頻通信網(wǎng)絡(luò)中最基本的器件之一,該文提出了一種新型基于硅襯底的新型射頻微機械開關(guān),介紹了射頻微機械開關(guān)的設(shè)計原理和器件結(jié)構(gòu),提出了器件的近似力學(xué)分析模型,分析和優(yōu)化器件的插入損耗和驅(qū)動電壓參數(shù),介紹了器件的制作工藝,最后給出器件的測試結(jié)果.具體內(nèi)容包括:介紹了各種射頻微機械器件,特別是射頻微機械開關(guān).通過與其他傳統(tǒng)射頻開關(guān)的比較,總結(jié)了射頻微機械開關(guān)具有結(jié)構(gòu)簡單、插入損耗小、工藝容差大、有利于降低成本和提高成品率等優(yōu)勢.基于此

2、,我們在設(shè)計中采用了靜電驅(qū)動式射頻微機械開關(guān)結(jié)構(gòu).詳細分析了插入損耗與器件結(jié)構(gòu)的關(guān)系,在此基礎(chǔ)上提出了新型的射頻傳輸線基于可動膜射頻微機械開關(guān)的結(jié)構(gòu).通過大幅度的減少射頻傳輸線的陳底厚度,可以達到降低插入損耗的目的.為了實現(xiàn)射頻傳輸線的薄襯底結(jié)構(gòu),根據(jù)共面波導(dǎo)的設(shè)計思想,設(shè)計了腔體式共面波導(dǎo)型射頻微機械開關(guān).給出了器件制作的完整的工藝流程,重點介紹了犧牲層的填充以及平整化等器件制作的關(guān)鍵微機械表面加工工藝,并根據(jù)射頻微機械開關(guān)的特殊要求