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文檔簡介
1、本論文提出一種結構新穎的靜電驅動、電容旁路式RFMEMS開關,利用雙端固支薄膜在大于臨界應力時的翹曲原理實現(xiàn)鎖存功能。其特點是,當沒有控制電壓作用時,開關保持原有狀態(tài),即可以實現(xiàn)常開、常閉功能。 首先,詳細地討論了器件的機械設計和電學設計。分析了氮化硅/金復合膜的橫向翹曲特性。有限元分析表明驅動電壓隨薄膜和驅動電極的間距增加而指數(shù)增加,隨應力增大而迅速增大。設計了特征阻抗為50Ω的有限寬地平面共面波導,討論了其損耗特性。提出了開
2、關的等效電學模型并計算得到等效電路參數(shù)。ADS模擬表明開關具有很低的插入損耗(<0.13dB@50MHz-30GHz)和較高的隔離度(25dB@30GHz)。在此基礎上,擴展到一種三態(tài)鎖存RFMEMS開關,簡要闡述了其工作原理。 然后,采用表面微機械加工技術并以P(100)高阻硅為襯底制作了器件的硅基部分樣品并進行了初步測試。著重研究了犧牲層平坦化、犧牲層腐蝕、薄膜淀積、薄膜應力控制以及離子束刻蝕等關鍵工藝。首次將新型接觸平坦化
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