微尺度射頻元件設(shè)計(jì)理論基礎(chǔ)及微機(jī)械天線的研究.pdf

1、該文在分析國(guó)內(nèi)外RF-MEMS研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,對(duì)相關(guān)微尺度射頻元件,如微機(jī)械電感器、微機(jī)械電容器、微機(jī)械射頻開關(guān)以及微機(jī)械諧振器/濾波器的設(shè)計(jì)理論作了較深入的分析,為這些微尺度射頻元件的研制提供了理論基礎(chǔ).該文重點(diǎn)對(duì)關(guān)鍵器件——微機(jī)械天線作了深入的理論、數(shù)值計(jì)算和實(shí)驗(yàn)研究,成功地研制出多種結(jié)構(gòu)的微機(jī)械天線,在微機(jī)械天線的理論設(shè)計(jì)和制造上取得了突破與創(chuàng)新.該論文的主要研究?jī)?nèi)容包括:研究了微尺度射頻元件(微機(jī)械電感器、微機(jī)器電容器、微機(jī)械

2、射頻開關(guān)和微機(jī)械諧振器/濾波器等)設(shè)計(jì)基礎(chǔ)理論;重點(diǎn)對(duì)微機(jī)械天線的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),微機(jī)械天線的基本理論與電磁仿真計(jì)算,微機(jī)械天線的制造和測(cè)試等方面作了較全面的研究.微機(jī)械天線研究具體涉及到微機(jī)械微帶線結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及其有效介電常數(shù)、特性分析;微機(jī)械天線混合基底等效模型及其空腔模型法分析;微機(jī)械天線的有限時(shí)域差分法分析;微機(jī)械天線結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及微型化研究;微機(jī)械天線的參數(shù)計(jì)算和電磁數(shù)值仿真分析;微機(jī)械天線的加工制造;微機(jī)械天線的測(cè)試;微機(jī)械天線的計(jì)算與測(cè)