已閱讀1頁，還剩78頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領
文檔簡介
1、該論文在比較各種類型光開關的特點的基礎上,結合現有的工藝條件,完成了一種使用常規(guī)體硅微機械加工工藝實現的光開關的設計和制作.并初步完成了光纖的耦合封裝工作.該論文使用傳統(tǒng)的KOH腐蝕液,利用硅材料的各向異性的特點,加工出了垂直于襯底表面的微鏡結構,利用這種微鏡結構可以完成光線的切換,實現光路的開關功能.該論文在闡述了常用的微機械加工工藝的基礎上,重點介紹了這種微機械光開關的制作過程.同時對工藝中出現的問題就其原因進行了分析,給出了改進的
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 硅基微機械光開關研究.pdf
- 轉動豎直微鏡的硅微機械光開關研究.pdf
- 基于硅襯底的新型射頻微機械開關.pdf
- 微機械光開關的設計與制造.pdf
- 一種壓阻式微機械陀螺的研究.pdf
- 一種新型的微機械可變式光衰減器的研制.pdf
- 一種新型微機械陀螺陣列設計.pdf
- 硅微機械陀螺工藝及性能的研究.pdf
- 體硅微機械加工技術與新型微機械加速度傳感器研究.pdf
- 基于MEMS的微機械射頻開關的研究和設計.pdf
- 一種感應單軸的硅微機械振動陀螺儀的設計與制作.pdf
- 新型鎖存射頻微機械開關的設計與工藝研究.pdf
- 非硅基微機械光開關及可調光衰減器的設計,制作與分析.pdf
- 硅微機械陀螺敏感結構的理論研究.pdf
- 硅微機械陀螺的信號分析與處理.pdf
- 一種新型微機械陀螺儀的結構與檢測系統(tǒng)研究.pdf
- 硅微機械陀螺數字測控系統(tǒng)的算法研究.pdf
- 電容式微機械體聲波硅諧振器的研制.pdf
- 基于FPGA的硅微機械陀螺儀滑?？刂蒲芯?pdf
- 硅微機械陀螺信號測試與處理.pdf
評論
0/150
提交評論