9V-3500A風(fēng)冷電解電源的研制.pdf

1、三氟化氮(NF3)是一種無色、無味的有毒不可燃?xì)怏w。它具有較強的氧化能力，可用作火箭助推燃料的氧化劑；與某些氣體混合，則可用于等離子體工藝中硅化物的刻蝕。如今，NE3作為半導(dǎo)體刻蝕劑和清洗劑，在電子工業(yè)中已得到了廣泛的應(yīng)用。隨著世界電子工業(yè)的飛速發(fā)展，為滿足日益增長的產(chǎn)量和質(zhì)量的要求，世界各大生產(chǎn)商都在積極地對NF3的制備進(jìn)行研究，同時不斷擴大生產(chǎn)能力。
　　在電解法制備NF3的生產(chǎn)中，由于采用了傳統(tǒng)的晶閘管水冷整流器作為電解電源

2、，其轉(zhuǎn)換效率較低，水冷散熱器易堵塞、腐蝕，嚴(yán)重影響了電源的效率和可靠性。這與國家所提倡的節(jié)能減排政策是不相符的。
　　為了克服傳統(tǒng)水冷電源的各種缺點、減少電解過程中的電能損耗，本文通過參考大量文獻(xiàn)，針對NE制備的生產(chǎn)特點，提出了采用移相全橋零電壓PWM變換器作為電解電源的主電路拓?fù)?，結(jié)合風(fēng)冷散熱方式，有效降低了水冷散熱器腐蝕、堵塞帶來的危害，使整機效率、可靠性以及熱穩(wěn)定性得到了很大提升。
　　本文從電力電子學(xué)的角度，闡明了電

3、解電源在國內(nèi)外的發(fā)展和研究現(xiàn)狀；針對NE3的制備討論了電解槽負(fù)載和“極化”現(xiàn)象對開關(guān)電源的影響，提出了設(shè)計方案；詳細(xì)說明了移相全橋零電壓PWM變換器的工作過程，并討論了軟開關(guān)的實現(xiàn)條件和副邊電壓占空比丟失的問題；給出了主電路主要功率器件的詳細(xì)計算選型過程，提出了以數(shù)字信號處理器TMS320LF2407為核心，并結(jié)合觸摸屏人機交互界面的控制方案，通過了MATLAB/Simulink的仿真驗證；分析了風(fēng)冷散熱方式的制約因素，結(jié)合電路損耗的計