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1、原子力顯微鏡(AFM)作為納米科技中最為有效和重要的檢測加工手段之一,其應(yīng)用隨著納米科技熱的興起而日益引起人們的重視,儀器本身的穩(wěn)定性、圖像質(zhì)量、操作的簡便性以及應(yīng)用領(lǐng)域的拓展和產(chǎn)業(yè)化也越來越受到關(guān)注。 通過對AFM基本原理的了解,以及對相應(yīng)于不同應(yīng)用的改進技術(shù)和在同樣原理基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新型檢測儀器的了解為背景,通過比較和分析,找出給現(xiàn)有AFM儀器增加新功能的可行性。在對其主要的缺陷和不足有了比較深入認識的基礎(chǔ)之上,針對IPC
2、-208BJ型機的研制和應(yīng)用過程中碰到的問題,提出了配合新應(yīng)用的改進方案,并進行了初步的實驗研究,積累了應(yīng)用經(jīng)驗。不僅拓展了AFM的應(yīng)用領(lǐng)域,也為AFM在國內(nèi)的普及和產(chǎn)業(yè)化奠定了良好的基礎(chǔ)。 本論文研究的主要內(nèi)容包括:研究了AFM掃描控制系統(tǒng)設(shè)計的基本理論,尋找出電路中適于引入其他裝置以增加新功能的工作點;根據(jù)掃描隧道譜(STS)相關(guān)實驗方式,在IPC-208BJ型機的反饋回路中引入控制開關(guān),并借助外圍設(shè)備(函數(shù)信號發(fā)生器、存儲
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