150A-1200V快速軟恢復(fù)功率二極管的設(shè)計(jì)與試制.pdf

1、大功率快恢復(fù)二極管(FRD)廣泛應(yīng)用于電力電子領(lǐng)域,作為續(xù)流二極管與三端功率器件并聯(lián)使用,是現(xiàn)代電力電子技術(shù)中的關(guān)鍵器件。隨著電力電子技術(shù)的發(fā)展,電力電子器件的頻率不斷提高,特別是IGBT、功率MOSEFT的研制成功,并得到急劇發(fā)展和商業(yè)化。因此與IGBT、功率MOSFET等高頻電子器件配套,且不可缺少的快速軟恢復(fù)二極管的開發(fā)成為一個(gè)重要和迫切的需要。本文針對150A/1200VPIN大功率快恢復(fù)二極管,在分析FRD的基本結(jié)構(gòu),工作原理

2、以及主要參數(shù)影響基礎(chǔ)上,分別采用理論計(jì)算以及計(jì)算機(jī)模擬技術(shù),根據(jù)器件的正向壓降VF,反向耐壓VR,反向漏電流IR,反向恢復(fù)時(shí)間trr電學(xué)參數(shù),對其結(jié)構(gòu)參數(shù)以及工藝參數(shù)進(jìn)行了理論計(jì)算和計(jì)算機(jī)模擬分析優(yōu)化。特別是對長基區(qū)局域壽命區(qū)域位置、壽命大小以及長基區(qū)壽命等參數(shù)對器件正向壓降VF,反向漏電流IR,反向恢復(fù)時(shí)間trr,電學(xué)參數(shù)的影響進(jìn)行重點(diǎn)分析優(yōu)化,最終得到二極管的結(jié)構(gòu)與工藝參數(shù),并結(jié)合工藝條件制定出工藝流程和工藝參數(shù)。最后進(jìn)行了樣品試制