基于ACS的探針臺(tái)驅(qū)動(dòng)程序的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、隨著半導(dǎo)體器件及集成電路工藝制造技術(shù)的飛速發(fā)展，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展和市場(chǎng)需求也越來(lái)越高。探針測(cè)試臺(tái)是半導(dǎo)體工藝線上的中間測(cè)試設(shè)備，與測(cè)試儀器連接后，能自動(dòng)完成對(duì)集成電路及各種晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能測(cè)試。prober driver(探針臺(tái)驅(qū)動(dòng)程序)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)，使得用戶(hù)可以通過(guò)軟件界面控制測(cè)試設(shè)備，控制探針的的升降和移動(dòng)，通過(guò)界面進(jìn)行操作，既提高了控制精度，又使得控制更為方便。
　　針對(duì)以上實(shí)際問(wèn)題的背景，根據(jù)分析相關(guān)項(xiàng)目的客

2、戶(hù)需求，本論文將選取ACS項(xiàng)目中prober driver(探針臺(tái)測(cè)試驅(qū)動(dòng)程序)模塊進(jìn)行研究和擴(kuò)展，設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)一種針對(duì)不同半導(dǎo)體芯片測(cè)試的的探針臺(tái)設(shè)備的驅(qū)動(dòng)程序。不同型號(hào)的探針臺(tái)設(shè)備單獨(dú)與該驅(qū)動(dòng)程序進(jìn)行通信，調(diào)用通用函數(shù)實(shí)現(xiàn)各個(gè)模塊的功能。
　　本系統(tǒng)采用C語(yǔ)言進(jìn)行開(kāi)發(fā)，采用了模塊化的設(shè)計(jì)思想，每一個(gè)功能模塊與設(shè)備之間相對(duì)獨(dú)立。根據(jù)不同設(shè)備的需求，調(diào)用函數(shù)實(shí)現(xiàn)功能。如此能夠節(jié)省大量的資源和時(shí)間，大大簡(jiǎn)化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，便于程序的調(diào)用，修