基于BST鐵電薄膜的微帶型微波調(diào)諧器件研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、基于BST鐵電薄膜介電調(diào)諧概念的微帶型微波調(diào)諧器件,有望在未來微波集成電路(MIC)和軍用通訊中得到重要應(yīng)用而得到國際上研究重視.該文從微波測試、材料研究、器件設(shè)計(jì)以及器件制備四個(gè)方面進(jìn)行研究.采用AGILENT的網(wǎng)絡(luò)分析儀器和CASCADE的微波芯片原位測試系統(tǒng),構(gòu)建了材料與器件的微波性能測試系統(tǒng).研究了共平面電容結(jié)構(gòu)的電磁結(jié)構(gòu)與等效測試電路,給出了薄膜材料的微波測試結(jié)果.在(100)單晶MgO、LaAlO<,3>單晶基片上用PLD工

2、藝沉積制備了高調(diào)諧率、低損耗外延BST薄膜.采用XRD、SEM等手段表征薄膜的外延特性和基本結(jié)構(gòu)特征,研究了不同Ba/Sr組分、基片溫度、沉積氧壓(P<,o2>)、薄膜厚度、不同基片等對薄膜外延結(jié)構(gòu)與電性能的影響規(guī)律.著重探討了Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>/LaAlO<,3>外延結(jié)構(gòu)重沉積氧壓對薄膜微結(jié)構(gòu)和電性能的影響作用機(jī)制,并且指出其外延性能和晶格畸變之間的矛盾特性.參考美國NASA的年度報(bào)告中公開的器件設(shè)計(jì)圖,采

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