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文檔簡介
1、鐵電薄膜是一種具有鐵電性且厚度為數(shù)十納米到數(shù)微米的薄膜材料,它具有良好的鐵電性、壓電性、熱釋電性、電光及非線性光學特性等,可廣泛應用于微電子學、光電子學、集成光學和微電子機械系統(tǒng)等領(lǐng)域,一直是高新技術(shù)研究的前沿和熱點之一。
選取鈦酸鋇為研究對象,以分析純的乙酸鋇和鈦酸正四丁酯為原材料,冰乙酸為溶劑,乙酰丙酮為穩(wěn)定劑,采用溶膠-凝膠法在硅襯底上制備了鈦酸鋇鐵電薄膜。
研究了鈦酸鋇鐵電薄膜的結(jié)晶狀況、表面形貌和光
2、致發(fā)光性能。試驗結(jié)果表明,600℃8小時退火的鈦酸鋇薄膜呈現(xiàn)結(jié)晶態(tài),而400℃以下退火處理的樣品薄膜仍為非晶態(tài);薄膜表面呈島狀結(jié)構(gòu),光滑致密、無明顯的裂痕和孔洞等缺陷。薄膜PL 譜顯示室溫下非晶態(tài)的鈦酸鋇鐵電薄膜在藍光激發(fā)下具有很強的光致發(fā)光現(xiàn)象,其中經(jīng)8小時400℃退火處理的樣品薄膜的光致發(fā)光性能最佳,在540~660nm內(nèi)發(fā)出強烈的黃光,峰值波長為580~610nm,峰寬約30nm。晶態(tài)的鈦酸鋇鐵電薄膜無任何發(fā)光現(xiàn)象。
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