氣浮墊精密研拋設備改造及其工藝研究.pdf

1、隨著精密、超精密技術的發(fā)展日益進步，機器及檢測儀器等的精度要求越來越高，對氣浮墊的制造精度也提出更高的要求。目前，由于氣浮墊精密加工技術的研究還不夠深入，因此，研究氣浮墊的精密制造技術是氣浮墊領域亟須解決的課題。
　　 本文主要對現有設備進行改造，改造研磨拋光機的加載方式，為了能夠實現彈性薄板均壓槽結構的氣浮墊研磨拋光加工，提出一種端面氣膜密封的旋轉密封件以及分氣站的設計方案，實現可變彈性薄板均壓槽氣浮墊在研磨拋光設備上自動研磨

2、拋光。氣浮墊的研磨過程對研磨質量有決定性的影響，本論文從運動學和幾何學的角度出發(fā)，建立了氣浮墊精密研磨的軌跡方程，并利用編寫計算機程序對其仿真，分析主要工藝參數對氣浮墊的表面質量的均勻性影響，對保證氣浮墊研磨拋光后的表面質量有重要的意義。本文對氣浮墊精密研磨拋光的工藝基礎進行研究，研磨拋光過程中易產生劃痕，應力等缺陷，氣浮墊的加工表面質量是這一過程的主要因素，本文從這一因素理論分析了產生缺陷的原因，在研究工藝理論的基礎上，實驗過程通過改