MEMS微麥克風芯片設計.pdf

1、近年來MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微電子機械系統(tǒng))微麥克風得到了蓬勃發(fā)展,并在高端手機、筆記本電腦、藍牙耳機等消費電子產品中廣泛應用,表現出替代傳統(tǒng)駐極體電容式麥克風的強大勢頭。MEMS微麥克風主要包含了一個MEMS芯片,并通過它來將聲音信號轉換成電信號。目前麥克風MEMS芯片主要是國外制作,國內從事的研究也很多,但主要集中在工藝和結構上，而對MEMS微麥克風的原理和建模仿真分析較少。

2、r>　　本文對MEMS微麥克風的工作原理及相關理論進行研究,采用等效電路法建立理論模型,并應用PSpice進行仿真分析,通過模型的調整,達到市場要求的輸出結果,最終輸出最優(yōu)的設計參數。同時在設計過程中對最關鍵的部件振膜進行了重點研究,采用Ansys軟件進行有限元的仿真分析。對多晶硅和氮化硅兩種材質的振膜進行了對比分析,利用Ansys軟件的模態(tài)分析和諧響應分析對不同厚度和不同應力的兩種振膜進行了對比。另外對MEMS芯片做了吸膜電壓分析,最