面向MEMS麥克風(fēng)自動(dòng)貼片的視覺系統(tǒng)研究.pdf

1、基于MEMS工藝的麥克風(fēng)以微尺寸、抗干擾、耐熱等優(yōu)點(diǎn)得到了廣泛的應(yīng)用，巨大的市場(chǎng)需求使MEMS麥克風(fēng)的生產(chǎn)亟待需要批量化自動(dòng)生產(chǎn)，而國(guó)內(nèi) MEMS麥克風(fēng)制造中的貼片工藝大部分依靠操作者在顯微鏡下完成，效率低下，可靠性差，成為大批量生產(chǎn)的瓶頸。因此，研究高速高精度的自動(dòng)化貼片系統(tǒng)對(duì) MEMS麥克風(fēng)的批量制造有重大意義。
　　本文首先分析了MEMS貼片工藝流程，針對(duì)貼片工藝分析了貼片系統(tǒng)的功能模塊及組成，結(jié)合貼片系統(tǒng)的技術(shù)要求，確定了

2、視覺系統(tǒng)應(yīng)具有的功能，從而設(shè)計(jì)并建立了MEMS自動(dòng)貼片的視覺系統(tǒng)。最后對(duì)視覺定位原理進(jìn)行分析，為高精度定位提供理論依據(jù)。
　　針對(duì)高速貼片的要求，將飛行視覺技術(shù)引入到視覺系統(tǒng)中。對(duì)目前典型的飛行視覺方案進(jìn)行技術(shù)分析后，提出一種基于旋轉(zhuǎn)式反射鏡的飛行視覺方案，并通過飛行視覺成功采集了芯片圖像?；谔荻仍u(píng)價(jià)函數(shù)對(duì)圖像清晰度進(jìn)行評(píng)價(jià)后得到的結(jié)果證明該方案是可行的。
　　針對(duì)貼片的高速高精度要求，對(duì)視覺系統(tǒng)中的圖像處理算法進(jìn)行了研究

3、。通過改進(jìn)Canny算法，成功實(shí)現(xiàn)了自適應(yīng)的Canny邊緣檢測(cè)；基于粗一細(xì)結(jié)合的思想，使用Hough變換算法實(shí)現(xiàn)了芯片的快速檢測(cè)；采用了一種改進(jìn)的快速Hough圓檢測(cè)算法，并將該算法和最小二乘圓(LSC)算法結(jié)合達(dá)到亞像素的檢測(cè)精度；針對(duì)質(zhì)量檢測(cè)的快速要求，提出了基于復(fù)合投影的快速匹配算法；并對(duì)上述算法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)分析，實(shí)驗(yàn)結(jié)果滿足貼片的高速高精度要求。
　　最后編寫了貼片系統(tǒng)的控制軟件，對(duì)視覺系統(tǒng)的定位和質(zhì)量檢測(cè)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)分析，結(jié)