一種便攜SAW氣體傳感器的電路設計.pdf

1、聲表面波(SAW，SurfaceAcousticWave)氣體傳感器由于其高靈敏度，易于攜帶等獨特的優(yōu)點越來越受到人們的關注。評價一個SAW氣體傳感器的好壞主要從兩個方面：SAW器件及檢測電路。因為SAW器件的中心頻率決定著檢測氣體的靈敏度，SAW器件的插損數(shù)值的大小關系著器件能否起振；檢測電路又關系到傳感器的精度和穩(wěn)定度。所以對二者的研究都有重要意義。
　　 本文首先介紹如何設計制作中心頻率為120MHz的延遲線型SAW器件，

2、然后通過對各檢測法進行比較，最終選擇了受環(huán)境因素影響小的頻率檢測法來設計檢測電路。
　　 對于器件的設計，采用雙延遲線結(jié)構(gòu)，并用耦合模(COM)理論進行了分析，推導了整個單相單向換能器的混合矩陣（P矩陣），最終結(jié)合等效電路模型得到器件的幅頻及相頻響應等。在器件的制作方面，采用了鋁犧牲層工藝。
　　 為了消除環(huán)境影響，在電路設計方面，主要采用頻率檢測的方法，這種方法是將器件的兩個通道（參比通道及敏感通道）產(chǎn)生的頻率信號作混