復(fù)雜形狀微細電極的制備與電解加工試驗.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)以及微機電系統(tǒng)(MEMS)的發(fā)展，零件尺寸越來越趨于微小型化，其相對應(yīng)的微細加工技術(shù)已成為各工業(yè)發(fā)達國家廣泛關(guān)注和重點投入的研究熱點。微細電解加工是利用金屬在電解液中可以發(fā)生陽極溶解的原理，以離子溶解方式去除材料，理論上可以達到微米甚至納米級別。因此，微細電解加工技術(shù)在微細制造領(lǐng)域顯示出來巨大的發(fā)展?jié)摿Α?br>　　 微細電解加工技術(shù)的關(guān)鍵之一在于微細工具的制備。傳統(tǒng)的電化學(xué)腐蝕方法只能制備圓柱形狀工具電極，因而存在一定的

2、局限性。本文提出采用基于微細電解線切割加工技術(shù)在線制備復(fù)雜形狀微細工具電極的方法，并通過加工試驗驗證了該方法的可行性。主要內(nèi)容包括以下幾個方面：
　　 (1)搭建了試驗加工裝置。選取合適的主軸電機，設(shè)計了棒料工件及微細線電極的夾具，解決了微細線電極的裝夾及加工進給等問題。
　　 (2)試驗探討了微細電解線切割工藝參數(shù)對微圓柱鎢棒料切割加工結(jié)果的影響。進行了一系列的基礎(chǔ)工藝試驗，從加工電壓、進給速度、電源脈沖寬度、電解液濃