基于微細(xì)球頭狀電極的微小孔電解加工技術(shù)研究.pdf_第1頁
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1、南京航空航天大學(xué)碩士學(xué)位論文基于微細(xì)球頭狀電極的微小孔電解加工技術(shù)研究姓名：孟冬申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：機(jī)械制造及其自動化指導(dǎo)教師：李寒松201012基于微細(xì)球頭狀電極的微小孔電解加工技術(shù)研究IIAbstractWiththedevelopmentofMicroElectroMechanicalSystem(MEMS)partscomponentsbecomemememiniaturizedsize.Crespondinghighqua

2、litymicroholeprocessingiscausedmemeattention.Electrochemicalmachining(ECM)hasmanyadvantagesofgoodsurfaceroughnessnoheataffectedlayeronthemachinedsurface.becausematerialisdissolvedattheunitsofanatomitcouldproducenanopreci

3、sionpartsinthey.TherefemicroECMshowsgreatdevelopmentpotentialprospectinmicromachiningcausingmemeconcernofresearchers.HoweverECMwasnotusuallyusedfmicrodrillingbecauseofthetapergeneration.Inthisthesisthestraightdeepholeswi

4、thafewmicrometersdiameterisdrilledbyusingmicrosphericalelectroderegulatingthemachiningconditions.Researchwkswerelistedasfollows:(1)Anewmethodoffabricatingmicrosphericalelectrodehasbeenpresented.Microsphericalelectrodecou

5、ldbefabricatedbymicroECMwithonepulseelectrodisge(OPEG)technology.Thekeyfactssuchasthewkingpolaritythewkingvoltagetheelectricdisgedurationthepeakcurrentsoonwhichimpactthefabricationofthemicrosphericalelectrodewasstudied.H

6、ighqualitymicrosphericalelectrodewerefabricatedsuccessfully.(2)Electrochemicalmicrodrillingusingmicrosphericalelectrodeultrashtpulsesisstudiedinthisthesis.Toobtainastraightdeepmicroholetheeffectsofthevoltagethepulseontim

7、ethepulseperiodfeedrateonthelocalizationdistancewereinvestigated.Highqualitystraightmicroholeswith42mdiameterin70mthicknessnickelfoilweredrilledusingmicrosphericalelectrodewith30mdiameter.Keywds:microelectrochemicalmachi

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