表面微小陣列凹坑微細電解加工技術(shù)研究.pdf

1、在摩擦副表面加工出陣列微坑作為改善滑動摩擦的途徑已經(jīng)成為研究熱點。在微坑所有加工方法中，電解加工具備加工效率高，成本低，無需二次加工等優(yōu)點。 電解加工是利用陽極在電解液中可以發(fā)生陽極溶解的原理，將零件加工成形的一種制造技術(shù)。由于電解加工中，陰極和工件是非接觸進行加工的，無應(yīng)力變形，另外材料的減少過程以離子的形式進行，因此這種微溶解去除方式使得電解加工技術(shù)在微細制造領(lǐng)域有著很大的發(fā)展?jié)摿ΑＱ芯筷嚵形⒖咏Y(jié)構(gòu)的微細電解加工技術(shù)，具有重

2、要的現(xiàn)實意義。 本文針對陣列微坑這種特殊結(jié)構(gòu)，采用電解加工技術(shù)在平面及圓柱表面加工出陣列微坑，完成了以下工作： 1、對工件掩膜（照相電解）加工平面上陣列微坑的工藝進行了研究，研究了不同加工電壓條件下加工時間對微坑尺寸的影響。通過電場分析解釋微坑中心部位微凸起的形成原因。 2、對陰極掩膜加工平面上陣列微坑的工藝進行了研究，搭建了實驗平臺，建立有限元模型給出了電場不發(fā)生干涉，陰極上微孔間距的臨界值。 3、對掩