ZnO：Al靶材與薄膜的制備初步研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、隨著社會(huì)經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展，能源危機(jī)已成為當(dāng)今世界面臨的巨大難題，氧化鋅作為一種寬帶隙半導(dǎo)體材料（室溫下帶隙寬度高達(dá)3.3eV），在太陽(yáng)能電池領(lǐng)域作為ITO薄膜的代替品，成為透明導(dǎo)電薄膜的新寵，正引起人們?nèi)找鎻V泛的關(guān)注。另外，由于氧化鋅還具有較高的激子束縛能（60meV），以及光電、壓電、氣敏特性等性質(zhì)，ZnO薄膜還被用于制作非線(xiàn)性光學(xué)器件、紫外光探測(cè)器、壓電器件、壓敏器件、紫外發(fā)光器件、氣敏傳感器等領(lǐng)域。
　　 本文利用電子束蒸發(fā)

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