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文檔簡介
1、MgO屬于面心立方結(jié)構(gòu)，晶格常數(shù)為4.213(A)，具有很多優(yōu)良的性質(zhì)，可作為功能性氧化物薄膜材料與硅襯底之間的緩沖層、等離子體顯示器(PDP)的介質(zhì)保護層以及微通道板的打拿極材料等。
本論文以醋酸鎂為前驅(qū)物，采用溶膠-凝膠甩膠法在Si襯底上制備了MgO薄膜，討論了溶膠濃度、薄膜層數(shù)和退火溫度等對薄膜質(zhì)量的影響，在氧氣氛圍下經(jīng)600℃退火處理后得到具有(200)(220)晶相的MgO薄膜，通過在前驅(qū)體配制時加入一定量的醋酸
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