CMOS Sensor瑕疵檢測關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著CMOS器件的廣泛應(yīng)用，人工檢測已經(jīng)不能滿足產(chǎn)量需求和產(chǎn)品質(zhì)量要求，需要研制用于對檢測其性能指標(biāo)的自動化設(shè)備。本文針對目前CMOS芯片人工檢測的不足，設(shè)計(jì)了自動光學(xué)檢測系統(tǒng)，滿足對CMOS芯片自動檢測的要求。系統(tǒng)優(yōu)化了光源的打光方式，根據(jù)LED的特點(diǎn)采用電壓源自動控制，并對三色光進(jìn)行混色。系統(tǒng)利用機(jī)械手替代人工完成對被檢測的CMOS芯片的分檢，分析了機(jī)械手的X、Y方向的位移精度。系統(tǒng)利用單目視覺技術(shù)，通過圖像處理技術(shù)判斷被抓取芯片位

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