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1、本文對(duì)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)的研究,并對(duì)影響電子束蒸發(fā)的五個(gè)主要因素包括鋁源、坩堝、烘烤溫度、高壓供給和真空進(jìn)行了全面的分析,在理論分析的基礎(chǔ)上,分別對(duì)其作了關(guān)鍵性的對(duì)比實(shí)驗(yàn),并對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)應(yīng)用MSO EXCEL進(jìn)行了分析與繪圖,從直觀的角度分析對(duì)比,得出了最優(yōu)方案。本文采用遞進(jìn)優(yōu)化的實(shí)驗(yàn)方法,即先對(duì)其中之一的因素作對(duì)比實(shí)驗(yàn),得出較好的條件后將其用于第二個(gè)因素實(shí)驗(yàn)的先決條件,依此類推,從而優(yōu)化設(shè)備硬件及工藝條件。通過(guò)研究與實(shí)驗(yàn),得出了適
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