電子束提純多晶硅的工藝研究.pdf

1、多晶硅是制造太陽能電池的原材料,隨著太陽能產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,使得多晶硅原材料嚴(yán)重短缺。傳統(tǒng)的多晶硅制備方法因?qū)Νh(huán)境污染嚴(yán)重、能耗高而不能適應(yīng)社會(huì)的發(fā)展要求。冶金法具有成本低、能耗小等特點(diǎn),可以有效的降低多晶硅材料的生產(chǎn)成本,能滿足太陽能產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。電子束熔煉加工過程具有無污染、低能耗、高效率、熱源能控制等優(yōu)點(diǎn)受到越來越多的重視和應(yīng)用。因此電子束熔煉技術(shù)和定向凝固技術(shù)在多晶硅制備工藝中有比較廣泛應(yīng)用前景。
　　文中采用仿真和實(shí)驗(yàn)相

2、結(jié)合的辦法,對(duì)電子束熔煉和定向凝固制備太陽能級(jí)多晶硅的工藝技術(shù)路線進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究,仿真在不同的電子束流和加熱時(shí)間條件下,電子束熔煉多晶硅的溫度場(chǎng)變化情況,與在不同冷卻水量條件下定向凝固溫度場(chǎng)變化情況。仿真的結(jié)果為實(shí)驗(yàn)提供理論和數(shù)據(jù)依據(jù)。實(shí)驗(yàn)研究在不同的熔煉時(shí)間下,電子束熔煉對(duì)多晶硅中雜質(zhì)元素分布的影響情況及其去除效果;與定向凝固在不同的冷卻水量和拉錠速度下多晶硅中雜質(zhì)分布情況和偏析效果。通過實(shí)驗(yàn)研究得出以下主要結(jié)論:
　　電子束熔煉