線結(jié)構(gòu)光共焦掃描顯微系統(tǒng)的研究.pdf

1、共焦顯微鏡由于采用了“共焦”技術(shù)而獲得了比普通光學(xué)顯微鏡更高的分辨率和信噪比,并且能夠?qū)悠愤M(jìn)行三維成像。激光共焦掃描顯微鏡在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、微電子制造和精密測(cè)量等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
　　目前大多數(shù)共焦顯微鏡都采用點(diǎn)共焦掃描。本論文提出了一種新型線結(jié)構(gòu)光共焦掃描顯微系統(tǒng),包括以下內(nèi)容:
　　1、以傅立葉光學(xué)和光學(xué)傳遞函數(shù)理論為基礎(chǔ),討論了點(diǎn)共焦顯微術(shù)三維相干函數(shù)和線結(jié)構(gòu)光共焦顯微術(shù)的交叉?zhèn)鬟f函數(shù),分析了影響成像分辨率的

2、因素。
　　2、設(shè)計(jì)了線結(jié)構(gòu)光共焦掃描顯微成像光學(xué)系統(tǒng),使用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件OSLO設(shè)計(jì)了專(zhuān)用的無(wú)限遠(yuǎn)像距半平場(chǎng)顯微物鏡和激光擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡。
　　3、設(shè)計(jì)了采用光柵反饋閉環(huán)控制的機(jī)械工作臺(tái)移動(dòng)平面掃描和步進(jìn)電機(jī)控制、精密齒輪傳動(dòng)的物鏡移動(dòng)軸向掃描系統(tǒng)。
　　4、設(shè)計(jì)了線結(jié)構(gòu)光共焦掃描顯微系統(tǒng)整體結(jié)構(gòu),對(duì)線結(jié)構(gòu)光共焦成像進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,結(jié)果證明了線結(jié)構(gòu)光共焦可以明顯減小雜散光的影響,增強(qiáng)圖像清晰度和對(duì)比度,且具有層析能力。