線結構光共焦掃描顯微術關鍵技術的研究及其儀器化.pdf

1、共焦顯微鏡由于采用了“共焦”技術而獲得了比普通光學顯微鏡更高的分辨率和信噪比,并且能夠對樣品進行三維成像。激光共焦掃描顯微鏡在生物醫(yī)學、材料科學、微電子制造和精密測量等領域有著廣泛的應用。
　　目前大多數(shù)共焦顯微鏡都采用點共焦掃描。2005年桂林電子科技大學光機電一體化研究所率先在國內提出了線結構光共焦掃描顯微術的理論并得到了實驗論證。盡管線結構光共焦掃描顯微術橫向分辨率僅能達到或接近傳統(tǒng)點掃描共焦顯微術的水平,但是該顯微術與傳統(tǒng)

2、點共焦顯微術相比也有兩個優(yōu)勢:首先改點掃描為線掃描,平面成像時僅需要一維掃描,不僅大大提高成像的速度,而且簡化了掃描機構;其次改探測針孔為探測細縫,可大大提高光能的傳遞量,不需使用昂貴的光電增強器,而是直接使用低照度CCD采集圖像。
　　本論文就是在上述線結構光共焦顯微術的理論及實驗研究基礎上,對其關鍵技術進行了進一步的深入研究并將其儀器化,實現(xiàn)了線結構光共焦顯微鏡科研樣機的研發(fā)。具體的研究內容如下:
　　1、對線結構共焦掃

3、描顯微術的理論進行深入的研究,提出了成像的關鍵技術;
　　2、在現(xiàn)有的普通顯微成像光學系統(tǒng)的基礎之上,設計了線結構光共焦掃描顯微成像專用光學系統(tǒng);
　　3、設計了開環(huán)控制的高精度機械移動掃描工作平面臺和步進電機控制系統(tǒng);
　　4、開發(fā)了針對線結構光共焦掃描顯微術的線掃描圖像融合程序。
　　經過線結構光共焦掃描顯微成像實驗證明:該科研樣機具有比傳統(tǒng)的光學顯微鏡更為優(yōu)良的像質,有力地驗證了線結構光共焦顯微術理論的正確