關于三維加速度光纖傳感器的理論研究.pdf

1、高可靠性，高靈敏度微型化的加速度傳感器越來越為汽車工業(yè)、航天、生物和醫(yī)學等領域所需要。目前的研究及工程場合對三維加速度的測量提出更高要求，針對于此本文提出了一種新型加速度光纖傳感器的設計，并對該傳感器進行了系統(tǒng)的理論研究，給出了該三維加速度傳感器的結構設計、測量原理以及其參數(shù)和性能指標。論文的主要工作如下：
　　首先，介紹了國內(nèi)外關于多維加速度傳感器的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢。隨后論述了光纖傳感技術的基本原理，并且分析了幾種典型的相位調

2、制型干涉儀的傳感機制，為后文部分加速度測量原理的推導提供了理論基礎。
　　其次，按照功能劃分出系統(tǒng)光源、敏感元件組、轉換與測量電路以及三維加速度的計算與輸出等模塊，并按照該劃分依次設計其結構。對于本文的核心部分，也就是對敏感元件組的設計，采用了彈性平膜片、全息光柵以及角錐棱鏡的組合，利用二維角度激光測量及邁克爾遜干涉原理，可以在較高精度下同時提取并實時測量三維加速度信號。
　　再次，利用材料力學的相關原理建立起膜片的位移與梁