一種亞納米級(jí)分辨力同軸式激光輪廓測(cè)量系統(tǒng)的研制.pdf_第1頁(yè)
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1、四川大學(xué)碩士學(xué)位論文一種亞納米級(jí)分辨力同軸式激光輪廓測(cè)量系統(tǒng)的研制姓名：陳嘟申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：測(cè)試計(jì)量技術(shù)及儀器指導(dǎo)教師：周肇飛2003.4.28四川大學(xué)碩士學(xué)位論文境；處此之外，它還利于提高分辨力并便于操作。本系統(tǒng)根據(jù)微觀表面輪廓對(duì)光信號(hào)的調(diào)制原理，采用計(jì)算機(jī)技術(shù)進(jìn)行控制、數(shù)據(jù)采集與處理，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)表面粗糙度各常用參數(shù)的測(cè)量，并給出被測(cè)表面的輪廓圖形。本激光輪廓測(cè)量系統(tǒng)功能齊全，具有較強(qiáng)的數(shù)據(jù)處理和輸出能力，操作直觀簡(jiǎn)便，測(cè)量精

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