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文檔簡介
1、進(jìn)入微尺度以后,薄膜材料的導(dǎo)熱規(guī)律以及熱物性(包括熱擴(kuò)散率、熱導(dǎo)率)與體材料相比發(fā)生了很大的變化,出現(xiàn)了超?,F(xiàn)象.分析和測量微尺度下薄膜材料的熱物性參數(shù)對微尺度傳熱理論分析和研究微器件的熱傳導(dǎo)能力、散熱速度以及新器件的開發(fā)具有重要的意義.該論文首先從微尺度理論、實(shí)驗(yàn)技術(shù)和計(jì)算機(jī)模擬三方面介紹了微尺度傳熱學(xué)研究現(xiàn)狀,接著分析了超短激光脈沖加熱金屬薄膜過程中的熱傳導(dǎo)和介質(zhì)薄膜中的熱傳導(dǎo)機(jī)制,闡述了超短激光脈沖交流量熱法的原理和實(shí)驗(yàn)技術(shù).根據(jù)
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