GJ-4型共焦測(cè)頭的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與研究.pdf

1、本文中所介紹的GJ-4型共焦測(cè)頭是光學(xué)非接觸測(cè)頭的一種，其測(cè)量原理為激光掃描共焦顯微檢測(cè)法原理，運(yùn)用了動(dòng)態(tài)主動(dòng)調(diào)焦的方法，通過(guò)使用時(shí)間差法處理信號(hào)將位移量的測(cè)量轉(zhuǎn)化為對(duì)時(shí)間差的測(cè)量。
　　 與前幾代共焦測(cè)頭相比，GJ-4型測(cè)頭增加了一級(jí)匯聚光路，利用非球面物鏡，將測(cè)量光斑大幅減小，使之能夠更好的完成對(duì)微小物體的測(cè)量；GJ-4型測(cè)頭的光電接收器件使用高響應(yīng)度的雪崩光電二極管，能夠?qū)σ恍┤醴瓷浔砻娅@取到較好的測(cè)量信號(hào)；GJ-4型測(cè)頭

2、的結(jié)構(gòu)結(jié)實(shí)穩(wěn)定，并設(shè)計(jì)有多處調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使其能夠滿(mǎn)足光路原理的要求；另外，GJ-4的測(cè)量范圍和可測(cè)角度比前代測(cè)頭均有所擴(kuò)大。
　　 本論文完成了GJ-4型共焦測(cè)頭的設(shè)計(jì)和調(diào)試，將其向產(chǎn)品化方向推進(jìn)，主要的工作內(nèi)容如下：
　　 1.簡(jiǎn)要介紹了動(dòng)態(tài)主動(dòng)調(diào)焦測(cè)量原理和時(shí)間差法測(cè)量原理；
　　 2.對(duì)光路進(jìn)行了理論推導(dǎo)并根據(jù)推導(dǎo)結(jié)果改進(jìn)了測(cè)頭光路；
　　 3.設(shè)計(jì)了新的測(cè)頭結(jié)構(gòu)方案，根據(jù)測(cè)頭新方案，對(duì)機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行了