無電極M-Z型干涉儀式LiNbO-,3-集成光波導電場傳感器.pdf

1、作為該課題,研究的是無電極M-Z型干涉儀式集成光波導電場傳感器,有著與其它傳感器不同的特點.它的研究任務(wù),主要包括了基本理論的研究,特別是線性電光效應(yīng)引起的波導折射率變化的研究,傳感器的設(shè)計、制作和傳感器的調(diào)試與測試三個部分.基本理論的研究就是根據(jù)光波導基本理論(主要包括麥克斯韋方程、菲涅爾法線方程、橢球折射率方程等),對LiNbO<,3>晶體中正常型波導和反轉(zhuǎn)型波導的折射率和電光張量進行分析,然后當有外加電壓時,所引起的正常型波導和反

2、轉(zhuǎn)型波導折射率變化的不平衡性而產(chǎn)生的電光效應(yīng)而進行研究.傳感器的設(shè)計是以光波導基本理論為基礎(chǔ),設(shè)計了光波導的長度與寬度,以及設(shè)計了鈦擴散的寬度和擴散深度,并以此制作了掩膜板,然后在制作中以集成光學器件的制作工藝為基礎(chǔ),制定了該傳感器的制作工藝流程,指出了工藝過程中的注意事項,尤其是在鈦擴散和質(zhì)子交換中的工藝過程,并加以分析.最后在傳感器制作完成后,對器件的插入損耗和直流特性進行了測試和分析,并討論了器件的交流特性,從而驗證了反轉(zhuǎn)理論的正