白光掃描干涉法測(cè)量三維表面形貌的研究.pdf_第1頁
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1、白光掃描干涉法在三維表面形貌的測(cè)量中有著廣闊的應(yīng)用前景.該文在了解各種三維表面形貌測(cè)量方法的基礎(chǔ)上,比較了各種方法的優(yōu)缺點(diǎn),對(duì)使用白光掃描干涉法高精度測(cè)量三維表面形貌技術(shù)進(jìn)行了研究.建立了在頻域分析白光干涉圖像求解表面高度的算法,在消除相位躍變上作了主要工作.分析了PZT步進(jìn)間隔、步進(jìn)總數(shù)、CCD灰度等級(jí)這幾個(gè)參數(shù)以及PZT誤差對(duì)計(jì)算高度準(zhǔn)確性的影響.自行組建了白光掃描干涉測(cè)量的實(shí)驗(yàn)裝置,編程實(shí)現(xiàn)了PZT掃描的控制、CCD圖像的采集,通

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