基于掃描白光干涉法的二元光學(xué)器件表面誤差分析.pdf

1、隨著二元光學(xué)器件(Binary Optical Element)在諸如空間技術(shù)、超精密加工、微光機(jī)電系統(tǒng)、計算機(jī)技術(shù)、信息處理、光纖通信、生物醫(yī)學(xué)、國防軍事等眾多領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，BOE表面質(zhì)量檢測以及加工工藝過程中控制參數(shù)的檢測變得日益重要。對二元光學(xué)器件表面質(zhì)量參數(shù)進(jìn)行無損納米級的尺度檢測是保證其制作工藝滿足精度要求及系統(tǒng)有良好性能的前提和主要手段。在眾多微觀光學(xué)元件表面輪廓的測量方法當(dāng)中，掃描白光干涉法的技術(shù)特點是：實現(xiàn)高精度、三維以

2、及實時快速的無損測量，而且掃描白光干涉系統(tǒng)結(jié)構(gòu)較簡單，操作方便以及投入樣品表面檢測的費(fèi)用較少。
　　本課題首先應(yīng)用實驗室設(shè)計的掃描白光干涉微納檢測儀對二元光學(xué)器件樣品表面進(jìn)行測量，并由圖像傳感器和圖像采集卡將元件表面的干涉圖像同步實時保存于計算機(jī)的硬盤當(dāng)中，同時利用快速空間頻域算法和位相解包裹對得到的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。根據(jù)計算得到的樣品表面每個像素單元的高度信息，重建出樣品表面微觀輪廓的三維形貌。依據(jù)重建出的樣品表面高度，一方面通