基于紅外白光干涉技術(shù)的MEMS器件形貌測試方法研究.pdf

1、分類號：TH74單位代碼：10110分類號：TH74單位代碼：10110學(xué)號：S20070488學(xué)號：S20070488中北大學(xué)中北大學(xué)碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文基于紅外白光干涉技術(shù)的MEMS器件形貌測試方法研究劉毅中北大學(xué)基于紅外白光干涉技術(shù)的MEMS器件形貌測試方法研究劉毅中北大學(xué)基于紅外白光干涉技術(shù)的MEMS器件形貌測試方法研究基于紅外白光干涉技術(shù)的MEMS器件形貌測試方法研究碩士研究生碩士研究生劉毅劉毅指導(dǎo)教師指導(dǎo)教師薛晨陽丑修建

2、薛晨陽丑修建學(xué)科專業(yè)學(xué)科專業(yè)微電子學(xué)與固體電子學(xué)微電子學(xué)與固體電子學(xué)2010年05月25日原創(chuàng)性聲明原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行研究所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的科研成果。對本文的研究作出重要貢獻(xiàn)的個人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本聲明的法律責(zé)任由本人承擔(dān)。本人鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行研究所

3、取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的科研成果。對本文的研究作出重要貢獻(xiàn)的個人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本聲明的法律責(zé)任由本人承擔(dān)。論文作者簽名：論文作者簽名：日期：日期：關(guān)于學(xué)位論文使用權(quán)的說明關(guān)于學(xué)位論文使用權(quán)的說明本人完全了解中北大學(xué)有關(guān)保管、使用學(xué)位論文的規(guī)定，其中包括：①學(xué)校有權(quán)保管、并向有關(guān)部門送交學(xué)位論文的原件與復(fù)印件；②學(xué)?？梢圆捎糜坝　⒖s印或其它復(fù)制手段復(fù)制并保存學(xué)

4、位論文；③學(xué)校可允許學(xué)位論文被查閱或借閱；④學(xué)?？梢詫W(xué)術(shù)交流為目的，復(fù)制贈送和交換學(xué)位論文；⑤學(xué)?？梢怨紝W(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容（保密學(xué)位論文在解密后遵守此規(guī)定）。本人完全了解中北大學(xué)有關(guān)保管、使用學(xué)位論文的規(guī)定，其中包括：①學(xué)校有權(quán)保管、并向有關(guān)部門送交學(xué)位論文的原件與復(fù)印件；②學(xué)?？梢圆捎糜坝?、縮印或其它復(fù)制手段復(fù)制并保存學(xué)位論文；③學(xué)校可允許學(xué)位論文被查閱或借閱；④學(xué)?？梢詫W(xué)術(shù)交流為目的，復(fù)制贈送和交換學(xué)位論文；⑤學(xué)?？梢怨紝W(xué)