MEMS器件綜合技術(shù)的研究.pdf

1、本文正是從器件綜合及優(yōu)化方法進行入手，在當(dāng)前有限的技術(shù)條件下，提出規(guī)范尺寸的概念來簡化設(shè)計，建立了MEMS器件綜合優(yōu)化方法及流程。首先研究VLSI中的數(shù)字邏輯綜合，為MEMS綜合的研究做指引，再對MEMS綜合的概念、過程與方法進行了簡要分析概述，分析對比MEMS綜合與VLSI中的邏輯綜合之間的相同及區(qū)別。分析國外的研究現(xiàn)狀。提出規(guī)范尺寸的概念(當(dāng)然是在一定的條件允許下)，規(guī)范尺寸能很好解決MEMS器件綜合中出現(xiàn)的多設(shè)計參數(shù)問題，縮減設(shè)計

2、參數(shù)，簡化設(shè)計過程。研究了梳狀微諧振器的器件綜合并利用有效面積的綜合方法，得到相應(yīng)的微諧振器器件結(jié)構(gòu)參數(shù)，實現(xiàn)了微諧振器的器件綜合。并用ANSYS軟件進行返回驗證，結(jié)果誤差很小，符合設(shè)計要求。給出了相應(yīng)叉指式硅微加速度計器件綜合兩種優(yōu)化方法及流程。采用C++Builder軟件做了一個MEMS基本元件(包括懸臂梁，固支梁，薄膜)的簡單綜合接口?？梢酝瓿苫镜膸缀纹骷?shù)綜合。自動生成器件拓撲參數(shù)。完成了一個新興領(lǐng)域-MEMS器件綜合的實現(xiàn)