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1、山東大學(xué)碩士學(xué)位論文基于MEMS技術(shù)的流體測(cè)量和流體控制器件姓名:易亮申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專(zhuān)業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:馬瑾20080504山東大學(xué)碩士學(xué)位論文探討了飛行器飛行過(guò)程中壁面阻力的主要來(lái)源的基礎(chǔ)上,仿真設(shè)計(jì)了微型振動(dòng)射流執(zhí)行器,振動(dòng)片在靜電力的作用下上下振動(dòng),在振動(dòng)片向上振動(dòng)的半個(gè)周期內(nèi),振動(dòng)片對(duì)近壁面的流動(dòng)直接進(jìn)行作用;在振動(dòng)片向下振動(dòng)的半周期內(nèi),振動(dòng)片底部的空腔體積減小,空腔內(nèi)的流體受到擠壓而從振動(dòng)片上的小孔噴出,形
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