基于分形的MEMS器件離面位移的測量.pdf

1、可運(yùn)動的微結(jié)構(gòu)是MEMS器件的重要單元，其運(yùn)動特性影響著器件的性能和可靠性。在MEMS動態(tài)測試中，微位移的測量是運(yùn)動特性參數(shù)中一個(gè)重要的評定要素，如何在MEMS離面運(yùn)動的過程中記錄運(yùn)動的細(xì)節(jié)，客觀直接的描繪出變化的情形，實(shí)現(xiàn)MEMS離面位移的測量，是MEMS動態(tài)特性研究中的重點(diǎn)和難點(diǎn)。因此，基于分形的MEMS器件離面位移的測量對MEMS可靠性研究具有重要的意義。
　　 首先，本文闡述課題研究的背景意義和主要研究內(nèi)容，總結(jié)MEMS

2、動態(tài)測試技術(shù)在國內(nèi)外研究的發(fā)展?fàn)顩r。通過對目前常用的三種非接觸式MEMS動態(tài)測量方法的研究，為了更直觀的分析MEMS離面運(yùn)動過程選定頻閃顯微干涉技術(shù)作為離面運(yùn)動圖像序列的采集方法。
　　 然后，本文對常用MEMS圖像分析理論方法進(jìn)行概述，分形因具有自相似性特征在充分利用圖像相關(guān)性方面具有優(yōu)越性，選擇分形作為MEMS圖像分析手段，并結(jié)合頻閃顯微干涉技術(shù)設(shè)計(jì)基于分形的MEMS器件離面位移測量方案。利用頻閃顯微干涉技術(shù)采集MEMS離面

3、運(yùn)動周期內(nèi)不同時(shí)刻的準(zhǔn)靜態(tài)圖像，經(jīng)過圖像預(yù)處理后提取圖像模板的邊緣，建立分形特性曲線確定離面運(yùn)動的旋轉(zhuǎn)角度，根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度和離面位移的轉(zhuǎn)換關(guān)系實(shí)現(xiàn)了離面位移的測量。
　　 其次，為了進(jìn)一步提高測量的精度，本文在常用圖像亞像素邊緣定位算法研究的基礎(chǔ)上，通過對不同的亞像素邊緣定位方法進(jìn)行對比分析，選擇基于矩方法的亞像素邊緣定位算法。為解決Zernike正交矩定位算法中存在模板效應(yīng)和定位邊緣較粗的問題，提出了改進(jìn)的Zernike正交矩的