氧化物電極材料的制備及其對BST薄膜介電性能影響的研究.pdf

1、氧化物導(dǎo)電薄膜錳酸鍶鑭(La1-xSrxMnO3，LSM)、鈷酸鍶鑭(La1-xSrxCoO3，LSC)作為鐵電薄膜鈦酸鍶鋇(BST)電容器、傳感器等的電極材料或緩沖層成為研究熱點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于微電子學(xué)和光電子學(xué)。本文采用溶膠—凝膠法在Si(100)基底上制備LSM、LSC導(dǎo)電薄膜，研究了溶膠的性能、組成(La/Sr比)、熱處理工藝對導(dǎo)電薄膜性能的影響，并將LSM、LSC薄膜作為BST薄膜的電極材料或緩沖層，研究LSM、LSC薄膜對BST

2、薄膜結(jié)構(gòu)及介電性能的影響。 采用溶膠—凝膠法制備了LSM，研究組成對LSM薄膜性能的影響，結(jié)果發(fā)現(xiàn)隨著Sr含量的增大， LSM的電阻率呈現(xiàn)先減小后增大的趨勢，當(dāng)Sr摻量在0.5時(shí)LSM的電阻率達(dá)到最小為4.2×10-2Ω·cm。進(jìn)一步研究La0.5Sr0.5MnO3溶膠中H2O、乙醇/乙酸比對La0.5Sr0.5MnO3薄膜的電阻率影響，結(jié)果表明H2O的用量與薄膜電阻率成正比，乙醇/乙酸比與薄膜電阻率成反比，在保證能得到澄清透明

3、溶膠的前提下，當(dāng)H2O的用量為0ml，乙醇/乙酸比為4：1時(shí)，La0.5Sr0.5MnO3薄膜的電阻率最小為3.8×10-2Ω·cm。采用正交實(shí)驗(yàn)法研究了預(yù)處理溫度及退火溫度對La0.5Sr0.5MnO3薄膜電阻率的影響規(guī)律，結(jié)果表明在預(yù)處理溫度為300℃，退火溫度為800℃，時(shí)間為600s時(shí)得到的La0.5Sr0.5MnO3薄膜電阻率最小，為1.2×10-2Ω·cm。 采用溶膠—凝膠法制備了LSC，研究組成及熱處理工藝對LS

4、C薄膜性能的影響規(guī)律，結(jié)果表明在La/Sr比為1時(shí)， LSC的電阻率達(dá)到最小，為1.32×10-2Ω·cm。La0.5Sr0.5CoO3的最佳退火溫度為750℃，此時(shí)得到的La0.5Sr0.5CoO3薄膜的電阻率為1.1×10-3Ω·cm。La0.5Sr0.5CoO3薄膜結(jié)晶良好，具有明顯的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)，晶粒大小均勻無裂紋空洞等缺陷。 沉積在La0.5Sr0.5MnO3、La0.5Sr0.5CoO3電極上的Ba1-xSrxTiO