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文檔簡(jiǎn)介
1、本文在CCD非線性及傅里葉變換輪廓術(shù)理論分析的基礎(chǔ)上,詳細(xì)分析了CCD非線性產(chǎn)生頻譜混疊的問(wèn)題,深入研究了CCD的非線性和抽樣對(duì)傅立葉變換輪廓術(shù)測(cè)量精度的影響。重點(diǎn)從理論上分析CCD的非線性產(chǎn)生高頻分量的原因,并給出了簡(jiǎn)單的物理解釋和詳細(xì)的解析推導(dǎo);討論了由于CCD的非線性,對(duì)條紋進(jìn)行傅立葉變換后,頻譜中會(huì)出現(xiàn)二級(jí)頻譜、三級(jí)頻譜等高級(jí)頻譜成份。這樣,抽樣不足,基頻會(huì)與相鄰頻譜島的二級(jí)頻譜、三級(jí)頻譜等高級(jí)頻譜發(fā)生混疊,從而影響FTP的測(cè)量
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