壓電驅(qū)動(dòng)器磁滯補(bǔ)償?shù)哪：刂品椒皯?yīng)用.pdf

1、壓電驅(qū)動(dòng)超精密微位移平臺(tái)作為各種現(xiàn)代微電子制造裝備的核心部件，其研發(fā)水平直接影響國(guó)家電子信息產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。但是，壓電驅(qū)動(dòng)器固有的磁滯特性，會(huì)使系統(tǒng)精度嚴(yán)重下降，甚至導(dǎo)致系統(tǒng)閉環(huán)的不穩(wěn)定。因此為了進(jìn)一步提高超精密機(jī)電系統(tǒng)快速運(yùn)動(dòng)精度，滿足納米級(jí)加工和操作的要求，急需研究磁滯補(bǔ)償控制的理論與方法。
　　本文主要研究了壓電驅(qū)動(dòng)器磁滯補(bǔ)償?shù)哪：刂品椒?，設(shè)計(jì)了二維并聯(lián)微動(dòng)平臺(tái)，采用了多輸入單輸出的模糊系統(tǒng)對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)器的磁滯特性建模，構(gòu)造

2、了xPC Target實(shí)時(shí)仿真系統(tǒng)，在此基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)了磁滯補(bǔ)償?shù)哪：_定等效控制實(shí)驗(yàn)。
　　首先，采用復(fù)合雙平行直板型柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，設(shè)計(jì)了具有極低運(yùn)動(dòng)耦合度的二維并聯(lián)微動(dòng)平臺(tái)，對(duì)其進(jìn)行了結(jié)構(gòu)優(yōu)化計(jì)算和有限元分析，使用電火花線切割加工完成后，實(shí)現(xiàn)了相關(guān)的測(cè)試及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。
　　其次，針對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)器的磁滯特性，提出了一種基于MISO模糊系統(tǒng)的磁滯建模方法，將一維輸入空間中的多值函數(shù)映射為多維輸入空間的單值函數(shù)，有效地解決了磁滯曲線

3、多值映射的問(wèn)題?；贛atlab7.9軟件，該方法根據(jù)磁滯系統(tǒng)的輸入輸出數(shù)據(jù)，在最大隸屬度、最近鄰居和超半徑概念的基礎(chǔ)上，基于1階T-S型模糊推理對(duì)模糊系統(tǒng)進(jìn)行訓(xùn)練和參數(shù)優(yōu)化，從而精確的建立了壓電驅(qū)動(dòng)器的磁滯特性模型。
　　然后，應(yīng)用xPC Target系統(tǒng)構(gòu)成硬件在回路仿真實(shí)時(shí)試驗(yàn)系統(tǒng)，它可以完成壓電驅(qū)動(dòng)器磁滯補(bǔ)償控制系統(tǒng)的快速原形化、硬件在回路中測(cè)試等工作。
　　最后，使用模糊確定等效控制器補(bǔ)償壓電驅(qū)動(dòng)器的磁滯特性，對(duì)微