提高激光干涉長度測量精度和速度的研究.pdf

1、該文在對激光干涉測量中影響測量精度和測量速度的因素進(jìn)行詳細(xì)分析的基礎(chǔ)上,對聲光調(diào)制技術(shù)及可調(diào)大頻差雙頻激光,空氣折射率的測量與實(shí)時(shí)補(bǔ)償,激光干涉中的非線性誤差以及幾何結(jié)構(gòu)誤差,適于外差干涉的信號(hào)處理電路電路等系列問題進(jìn)行了深入研究.研制出一種精密高速測量系統(tǒng),為提高測量精度和測量速度、降低儀器成本的綜合性能優(yōu)化提供了方法.針對干涉測量中的焦點(diǎn)問題,該文主要進(jìn)行了以下創(chuàng)造性工作:該文充分研究和比較了各種不同方法對空氣折射率修正的效果.在此

2、基礎(chǔ)上,對預(yù)抽氣干涉式測量空氣折射率的方法和裝置進(jìn)行了深入研究.利用該方法對空氣的折射率進(jìn)行測量具有實(shí)時(shí)性,配合電子計(jì)算機(jī)的使用,可對測量環(huán)境誤差因素進(jìn)行實(shí)時(shí)補(bǔ)償,從而提高了測量精度.研究了提高測量速度的途徑.超聲波使激光的波前發(fā)生畸變,從而限制了測量系統(tǒng)的分辨力.通過理論分析,采用特殊晶體的相位共軛波技術(shù)可以補(bǔ)償調(diào)制光的波前畸變.研究了單頻式及外差式激光干涉測量中非線性誤差產(chǎn)生的原因,并通過理論推導(dǎo),給出了這種非線性誤差的大小和性質(zhì)及