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文檔簡介
1、該文使用射頻磁控濺射的方法制備了Ag/Fe、Ag/Co、Ag/Cu、Cu/Fe、Al/TiAl等幾組多層薄膜材料,依據(jù)基片曲率法的原理研制了一套薄膜應(yīng)力的測量系統(tǒng),并用它實時測量了多層膜試樣在退火過程中的應(yīng)力變化.采用SEM、TEM、XRD等技術(shù)對退火后的試樣進行了微觀分析,根據(jù)雙向零蠕變法的原理計算了多層膜的層間界面能.在界面能的計算中,引入了修正系數(shù)Φ,并排除了表面能的影響.微觀分析表明Ag/Cu和Cu/Fe多層膜在退火過程中層結(jié)構(gòu)
2、崩塌,由于層間界面被破壞,無法測量它們的界面能.Ag/Fe多層膜退火過程中伴隨有再結(jié)晶和晶粒長大等過程,退火之后層間界面保持完好,Ag/Co和Al/TiAl多層膜也具有類似的特點.在零蠕變狀態(tài)下,多層膜的二維應(yīng)力所做的功與層界能作用達到平衡,經(jīng)過計算,550℃時Ag(111)/Fe(110)界面能為0.97±0.13J/m<'2>,450℃時Ag(111)/Co(111)界面能為1.02±0.17J/m<'2>,500℃時Al(111)
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