光柵莫爾條紋電子學(xué)細(xì)分技術(shù)研究.pdf

1、光柵測量技術(shù)具有高精度、高靈敏性、動態(tài)范圍大、易于實(shí)現(xiàn)自動化等特點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)對位移、速度等機(jī)械量的測量。為提高測量精度和分辨力，有效控制測量成本，莫爾條紋電子學(xué)細(xì)分技術(shù)被廣泛研究和應(yīng)用。 本文對莫爾條紋電子學(xué)細(xì)分技術(shù)進(jìn)行了深入研究，提出了提高細(xì)分精度和分辨力的解決方案。 從基本原理上歸納總結(jié)實(shí)際應(yīng)用中各種細(xì)分方法的實(shí)現(xiàn)途徑和特點(diǎn)。重點(diǎn)對正切法細(xì)分技術(shù)進(jìn)行研究并對細(xì)分精度影響因素進(jìn)行理論分析；在常規(guī)信號調(diào)理的基礎(chǔ)上，通過算法

2、對莫爾條紋信號進(jìn)行噪聲控制和相位校正，可極大提高細(xì)分精度。 為獲得高質(zhì)量信號，將神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)自適應(yīng)算法應(yīng)用于莫爾條紋信號降噪。神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)層實(shí)現(xiàn)信號的非線性映射，使線性和非線性噪聲均能得到有效抑制；將濾波步長與信號頻率構(gòu)成函數(shù)關(guān)系，步長的動態(tài)調(diào)整和算法的自適應(yīng)性保證了寬頻帶濾波效果。濾波后的莫爾條紋信號質(zhì)量明顯改善。 基于正切法細(xì)分，提出了一種新的相位誤差補(bǔ)償算法，通過信號區(qū)間的分段處理，使短周期信號的各相角均可得到實(shí)時校正，有