真空環(huán)境下專用操作機(jī)械手的設(shè)計(jì)研究.pdf

1、機(jī)器人技術(shù)是一種多學(xué)科交叉融合的綜合性高新技術(shù)，是與社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展情況相適應(yīng)的。隨著我國(guó)對(duì)真空下高溫等離子體物理診斷實(shí)驗(yàn)的深入，診斷設(shè)備能否適用于多種類型的高真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)已經(jīng)成為真空物理診斷實(shí)驗(yàn)的關(guān)鍵技術(shù)。由于高溫等離子體的危害性，具有獨(dú)立真空環(huán)境的專用操作機(jī)械手便成為輔助實(shí)驗(yàn)人員完成診斷實(shí)驗(yàn)的最佳手段。同時(shí)，專用操作機(jī)械手對(duì)在高真空環(huán)境下進(jìn)行的其它物理實(shí)驗(yàn)也有廣泛的應(yīng)用前景。
　　 本文以高真空物理實(shí)驗(yàn)環(huán)境為平臺(tái)，設(shè)計(jì)了一臺(tái)能在

2、高真空環(huán)境下作業(yè)的專用操作機(jī)械手。機(jī)械手的主要任務(wù)是在不破壞真空度為3.0×10-3Pa的高真空球形實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的情況下，將應(yīng)用于高溫等離子體物理診斷實(shí)驗(yàn)的小型診斷設(shè)備(如透射式光柵譜儀、五通道晶體譜儀等)按照設(shè)計(jì)要求精確安全的送入和收回，并便于診斷設(shè)備的清洗、維護(hù)和保養(yǎng)。本文主要從機(jī)械手的功能和技術(shù)使用要求出發(fā)，對(duì)機(jī)械手進(jìn)行了流程分析和功能分析，得出了機(jī)械手的結(jié)構(gòu)組成，在此基礎(chǔ)之上對(duì)機(jī)械手各子系統(tǒng)進(jìn)行了設(shè)計(jì)分析。為了滿足診斷設(shè)備的使用要

3、求和功能要求，本文對(duì)機(jī)械手進(jìn)行以下幾方面的研究：
　　 本文根據(jù)診斷設(shè)備的使用要求對(duì)機(jī)械手進(jìn)行全流程分析，研究機(jī)械手所需要具備的主要功能，并對(duì)功能進(jìn)行分析歸納整合，得出機(jī)械手的結(jié)構(gòu)組成。同時(shí)分析了機(jī)械手的視覺瞄準(zhǔn)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、搭載小車組件等各分系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方式以及驅(qū)動(dòng)方式和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，完成了機(jī)械手的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
　　 對(duì)真空相關(guān)技術(shù)進(jìn)行了簡(jiǎn)要介紹；同時(shí)利用真空技術(shù)對(duì)機(jī)械手的真空系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)設(shè)計(jì)，選定了真空系統(tǒng)各組成部分硬件

4、的型號(hào)，并對(duì)真空系統(tǒng)參數(shù)進(jìn)行了分析計(jì)算。
　　 運(yùn)用三維設(shè)計(jì)軟件Pro/Engineer5.0，對(duì)機(jī)械手進(jìn)行三維實(shí)體建模；以操作機(jī)械手的真空室為研究對(duì)象，運(yùn)用有限元分析軟件ANSYS Workbench12.0，建立了真空室組件的有限元模型，根據(jù)機(jī)械手真空室的實(shí)際情況對(duì)其施加約束及載荷，對(duì)真空室進(jìn)行結(jié)構(gòu)靜力分析和預(yù)應(yīng)力模態(tài)分析，得出了其結(jié)構(gòu)的等效最大應(yīng)力、最大變形量、前10階模態(tài)以及相應(yīng)振型，得出的分析數(shù)據(jù)可作為優(yōu)化設(shè)計(jì)依據(jù)。<