希爾波特變換條紋分析法及其在非球面鏡測量上的應(yīng)用.pdf

1、近代光學(xué)干涉檢測是一項(xiàng)復(fù)雜的精密測試技術(shù),它需要結(jié)合并運(yùn)用光學(xué)、電子、機(jī)械、計(jì)算機(jī)等多個(gè)領(lǐng)域的知識和技術(shù),這種檢測方法最終歸結(jié)為對一系列靜態(tài)或動態(tài)連續(xù)的實(shí)時(shí)干涉條紋圖進(jìn)行分析和計(jì)算.條紋圖像數(shù)字化處理技術(shù)基本上分為兩類:基于條紋亮度分析的條紋中心法和基于時(shí)間與空間相位分析的相位法.條紋中心法的算法為條紋跟蹤法,即模仿趨近法來研究條紋中心.相位測量法能夠克服由于條紋跟蹤而產(chǎn)生的問題,而且相位測量只受照相機(jī)的空間分辨率和計(jì)算機(jī)處理數(shù)據(jù)能力的

2、局限.在相位法中,普遍采用的求解相位的方法主要有三類:一類是傅里葉變換法,該方法只需一幅條紋圖即可算出相位,但計(jì)算量較大;一類方法是相移技術(shù),該方法需要相移器和多幅相移圖.根據(jù)相移次數(shù)的不同,目前有三步、四步和五步等不同的相移器算法;另一類是最大--最小掃描法.該課題研究了希爾波特變換法解調(diào)相位的原理和利用希爾波特變換法對干涉條紋的分析與處理的方法.同時(shí),該論文也論述了僅用一幅光載頻干涉條紋獲取非球面鏡表面的全部相位信息的方法.該方法是