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文檔簡介
1、隨著科技的發(fā)展,加速度傳感器在工業(yè)應(yīng)用中越來越得到廣泛應(yīng)用,比如設(shè)備的振動檢測.傳統(tǒng)的傳感器往往很難滿足上述要求,而微電子和微機械加工緊密結(jié)合的MEMS加速度傳感器已經(jīng)顯示出了巨大的生命力.該論文主要針對微機械壓阻式?jīng)_擊加速度傳感器,進行了設(shè)計,工藝制作,封裝和測試.論文論述了固有頻率和阻尼對傳感器動態(tài)特性的影響,進一步介紹了微機械傳感器中常用的阻尼模型,這些為傳感器的設(shè)計打下了良好的理論基礎(chǔ).針對已開發(fā)的加速度傳感器中存在的問題,設(shè)計
2、了雙質(zhì)量塊板結(jié)構(gòu)加速度傳感順,對該結(jié)構(gòu)進行了優(yōu)化設(shè)計(靈敏度,頻率和阻尼),而且實驗證明了同一版圖可以用于加工不同量程加速度傳感器.在傳感器的制備中,兩種不同量程的器件(1#傳感器:滿量程3000g,2#傳感器,滿量程100000g)都一次投片得到實驗樣品,表現(xiàn)出較好的工藝可控性.論文對兩種傳感器分別進行了動態(tài)測試.得到1#傳感器在5V供電的情況下,靈敏度為48μV/g,諧振頻率33kHz.2#傳感器靈敏度為1.4μV/g,諧振頻率22
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