復(fù)合量程壓阻式加速度傳感器陣列的研究.pdf

1、基于近年來國(guó)防事業(yè)、工業(yè)、環(huán)保、自控的需要，本文對(duì)具有自檢測(cè)的復(fù)合量程壓阻式加速度傳感器陣列進(jìn)行了研究。該項(xiàng)研究的特色體現(xiàn)在兩個(gè)方面。一方面，采用復(fù)合量程設(shè)計(jì)的硅微傳感器陣列作為探測(cè)器件，增加了信息的冗余度，從而實(shí)現(xiàn)了信息多維化和多參數(shù)檢測(cè)。同時(shí)，也提高了測(cè)試和控制系統(tǒng)的可靠性、靈活性和通用性。另一方面，傳感器具有自檢測(cè)功能，對(duì)其工作前的狀態(tài)正常與否進(jìn)行檢測(cè)，也可以大大提高系統(tǒng)的可靠性。因此，該項(xiàng)研究對(duì)許多領(lǐng)域的多參數(shù)測(cè)試與多功能控制技

2、術(shù)的發(fā)展起著重要的推動(dòng)作用。 本文首先對(duì)微加速度傳感器及傳感器陣列的國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀進(jìn)行了研究?？紤]到各種硅微傳感器的綜合性能和工藝成熟性等因素的影響，論文選擇壓阻式微加速度傳感器作為研究對(duì)象。該傳感器陣列具有自檢測(cè)功能，并采用四個(gè)量程2×2陣列的結(jié)構(gòu)形式。根據(jù)設(shè)計(jì)約束，通過理論計(jì)算和仿真分析對(duì)傳感器陣列的幾何參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。通過仿真分析確定壓敏電阻的位置，連接成開路的惠斯頓電橋。通過分析梁和質(zhì)量塊的阻尼力，給出傳感器系統(tǒng)的阻尼