鉸鏈?zhǔn)綄掝l帶高量程微加速度傳感器研究.pdf

1、隨著科技的發(fā)展，加速度傳感器在工業(yè)應(yīng)用中越來(lái)越得到廣泛應(yīng)用，比如設(shè)備的振動(dòng)檢測(cè)。傳統(tǒng)的傳感器往往很難滿足要求，而微電子和微機(jī)械加工緊密結(jié)合的MEMS加速度傳感器已經(jīng)顯示出巨大的生命力。在強(qiáng)烈振動(dòng)、高沖擊場(chǎng)合，需要一 定高量程的加速度計(jì)。高量程加速度傳感器往往需要寬頻帶；例如高量程加速度傳感器的量程可以達(dá)到100,000g，靈敏度為0.2～0.4μV／g，安裝固有頻率可達(dá)到MHz量級(jí)。 論文提出了一種鉸鏈?zhǔn)浇Y(jié)構(gòu)的壓阻式高量程加速

2、度傳感器，該結(jié)構(gòu)可使加速度傳感器在保持一定靈敏度的情況下大大提高器件固有頻率，從而在更寬的頻帶內(nèi)真實(shí)地反映沖擊過(guò)程的加速度波形。本論文主要對(duì)鉸鏈?zhǔn)礁吡砍碳铀俣葌鞲衅鞯脑O(shè)計(jì)、工作原理、結(jié)構(gòu)優(yōu)化、工藝制作和封裝進(jìn)行了研究。其中第二章詳細(xì)論述了鉸鏈?zhǔn)礁吡砍碳铀俣葌鞲衅鞯墓ぷ髟?，建立了?jiǎn)化模型和改進(jìn)模型分析該加速度計(jì)的力學(xué)性能，并用ANSYS模擬驗(yàn)證兩種模型的計(jì)算結(jié)果。其中的改進(jìn)模型考慮了質(zhì)量塊的變形以及梁和鉸鏈的質(zhì)量影響，提高了器件固有頻率